2024年3月20日至22日，被譽為“半導體盛宴”的SEMICON China 2024在上海新國際博覽中心舉行。合肥欣奕華第四代半導體AMHS在展會上精彩亮相。

根據(jù)SEMI最新預測數(shù)據(jù)，全球半導體銷售額2024年有望增長10%以上，并在2030年突破1萬億美元。半導體AMHS投入約占整個晶圓廠設備支出2~3%，已形成百億級人民幣規(guī)模的產(chǎn)業(yè)風口。作為晶圓廠制造不可或缺的設備系統(tǒng)，AMHS長期被國外少數(shù)企業(yè)壟斷。

半導體工廠需要無塵潔凈的環(huán)境運行，因而對自動化、智能化程度要求越高越好。AMHS，也稱為天車系統(tǒng)，可快速準確按照工藝流程在生產(chǎn)設備之間自動搬送裝載晶圓。通過該系統(tǒng)，可以大幅度減少晶圓在各個工藝機臺的等待時間，提升生產(chǎn)效率，同時，標準化的搬運過程可明顯提高產(chǎn)品良率，通過無人化搬運減少人員誤操作，因而廣泛應用于半導體硅片廠、芯片制造廠、芯片封裝廠。

合肥欣奕華主營泛半導體工藝、檢測及移載設備，以及工業(yè)軟件和大數(shù)據(jù)解決方案。自2021年開始，合肥欣奕華布局半導體AMHS系統(tǒng)開發(fā)，目前，已完成第四代產(chǎn)品迭代開發(fā)。

作為AMHS的核心部件之一，合肥欣奕華第四代OHT（空中無人懸掛式搬運車），較第三代產(chǎn)品本體尺寸縮小14厘米，直線行走速度可高達320米/分鐘，振動控制≤0.35G，讓價值不菲且又體質“脆弱”的晶圓，在快速自動搬運中獲得穩(wěn)穩(wěn)的依靠。

此外，該設備還可根據(jù)實際，實現(xiàn)最優(yōu)路徑規(guī)劃，并實時動態(tài)更新，設備運行軌跡與動作可視化，運行參數(shù)監(jiān)控可提前預測故障，各項技術規(guī)格水平達到全球先進水平。

據(jù)悉，基于第四代OHT，合肥欣奕華打造的首套12寸半導體AMHS整體解決方案已于2023年實現(xiàn)量產(chǎn)交付客戶應用，并陸續(xù)獲得了國內8寸Fab客戶前道制程整廠AMHS訂單和12寸Fab客戶前道制程OHT訂單。

近年來，合肥半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，產(chǎn)業(yè)集聚效應不斷凸顯，創(chuàng)新成果加速涌現(xiàn)。目前，合肥已經(jīng)成為全國少數(shù)幾個擁有集成電路設計、制造、封裝測試及設備材料全產(chǎn)業(yè)鏈的城市之一，集聚長鑫存儲、晶合集成、通富微電、匯成股份、恒爍股份、頎中科技等一批龍頭企業(yè)。

合肥通客戶端—合報全媒體記者 李后祥