5月12日，全省科技創(chuàng)新大會在合肥召開，會議對2023年度省科學(xué)技術(shù)獎獲獎項目進(jìn)行了表彰。我市11個項目獲省科學(xué)技術(shù)獎，其中“高性能慣性MEMS器件晶圓制造技術(shù)”等5個項目獲得省科學(xué)技術(shù)獎二等獎，獲獎項目總數(shù)全省排名第五。

由華東光電集成器件研究所牽頭組織研發(fā)的“高性能慣性MEMS器件晶圓制造技術(shù)”項目，針對慣性MEMS器件晶圓制造技術(shù)長期被西方國家壟斷和封鎖的問題，為滿足高端智能武器裝備高精度、高過載、超高量程及復(fù)雜戰(zhàn)場環(huán)境需求，對離散式準(zhǔn)懸浮抗過載敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計及制備、高Q值晶圓級真空封裝等核心技術(shù)開展了重點攻關(guān)和研究。該成果研制主要用于高性能慣性MEMS器件晶圓級制造，歷時9年研究，獨創(chuàng)了基于離散式多質(zhì)量塊架構(gòu)的準(zhǔn)懸浮抗高過載敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計及制備技術(shù)，提高了器件的耐高過載和抗干擾能力；自主創(chuàng)新了高深寬比雙面對通低應(yīng)力隔離垂直互連技術(shù)；開發(fā)了基于原位吸氣的全硅結(jié)構(gòu)高Q值晶圓級真空封裝技術(shù)；首創(chuàng)了高穩(wěn)定雙梁介質(zhì)隔離自對準(zhǔn)壓阻式器件制備技術(shù)及應(yīng)力隔離釋放技術(shù)，攻克了帶寬與靈敏度難以解耦、溫漂大等問題?？傮w技術(shù)國際先進(jìn)，其中改進(jìn)后的雙面光刻對準(zhǔn)技術(shù)國際領(lǐng)先。項目成果受到楊樹興、楊善林、江風(fēng)益三位院士書面推薦；授權(quán)發(fā)明專利62項，發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)4項，發(fā)表SCI、EI、核心論文18篇；培養(yǎng)了國家級高層次人才2人，省部級領(lǐng)軍人才5人；成功孵化安徽芯動聯(lián)科公司上市；產(chǎn)品應(yīng)用于航空、航天、船舶、兵器等上百家軍工單位重點工程，并推廣至HW等頭部企業(yè)，近三年新增銷售額9.34億元，經(jīng)濟(jì)社會效益顯著。

自2023年度省科學(xué)技術(shù)獎申報工作啟動以來，我市積極做好申報企業(yè)的輔導(dǎo)和咨詢服務(wù)工作。一是加大宣傳力度，梳理重點企業(yè)重點項目，逐一與企業(yè)負(fù)責(zé)人進(jìn)行及時、有效溝通，積極宣傳爭創(chuàng)省科學(xué)技術(shù)獎的意義和重要性，充分調(diào)動企業(yè)申報的主動性和積極性；二是組織培訓(xùn)學(xué)習(xí)，市科技創(chuàng)新服務(wù)中心組織召開省獎提名工作培訓(xùn)會，對省科技獎勵提名系統(tǒng)操作進(jìn)行實務(wù)培訓(xùn)；三是做好企業(yè)服務(wù)工作，科創(chuàng)中心組織專人審核企業(yè)省獎申報提名書，幫助企業(yè)查找問題、補缺補差，及時指導(dǎo)企業(yè)修改完善，提高企業(yè)省獎提名書形式審查通過率。

下一步我們將緊緊圍繞提升省科技獎申報項目質(zhì)量開展工作。一是提升科技服務(wù)水平。持續(xù)優(yōu)化省科技獎推薦提名工作流程，加大政策的解讀和說明力度，為申報單位提供專業(yè)化科技咨詢服務(wù)。二是凝聚科技創(chuàng)新力量。鼓勵引導(dǎo)企業(yè)、高校、科研院所的協(xié)同配合、資源共享，集中優(yōu)勢資源、形成科研合力，加快攻克重點領(lǐng)域核心關(guān)鍵技術(shù)，為我市高質(zhì)量開展科技獎勵工作打下良好基礎(chǔ)。