原標(biāo)題：浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室楊德仁院士——

　　自主創(chuàng)新，新材料助力“中國芯”

　　國慶假期這幾天，中科院院士、浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室教授楊德仁和同事并沒有休息，而是忙于編制一個國家重點研發(fā)計劃項目的實施方案。“這個項目叫做硅基發(fā)光基礎(chǔ)理論及器件關(guān)鍵技術(shù)，10月中旬前后將正式啟動。我們探尋用光來代替電子，在硅芯片上傳輸信息。”楊德仁告訴記者，如果在這一前沿領(lǐng)域有所突破，新的硅基光電子芯片有望成為現(xiàn)實。

　　與此同時，在金瑞泓微電子(衢州)有限公司的車間里，12英寸硅晶圓的生產(chǎn)線正在緊張安裝調(diào)試。12英寸硅晶圓是當(dāng)前制備芯片的基礎(chǔ)，其全球生產(chǎn)長期壟斷在少數(shù)幾家外國企業(yè)手中。楊德仁帶領(lǐng)團(tuán)隊和企業(yè)開展產(chǎn)學(xué)研合作，自主開發(fā)了制備微量摻氮、微量摻鍺、重?fù)搅椎?2英寸硅晶圓技術(shù)，目前即將實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。他說：“能夠自己生產(chǎn)12英寸硅晶圓，我們在芯片產(chǎn)業(yè)國際競賽中才有底氣。”

　　硅材料，半個多世紀(jì)以來始終是微電子科技和產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的基石，楊德仁在這一領(lǐng)域耕耘了30多年，研究成果兩次獲得國家自然科學(xué)獎。“硅儲量豐富、環(huán)境友好、制備成本低……在可預(yù)見的未來，硅仍將是微電子發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)。在硅材料上率先取得新的突破，將推動我們在微電子領(lǐng)域的一些關(guān)鍵方面趕超世界先進(jìn)水平。”楊德仁說。

　　在楊德仁看來，我國硅材料基礎(chǔ)研究已經(jīng)能與國際先進(jìn)水平平等對話，但走出實驗室，硅材料創(chuàng)新成果的產(chǎn)業(yè)化程度相比發(fā)達(dá)國家還存在明顯差距。“必須堅持走自主創(chuàng)新之路，形成自己的核心競爭優(yōu)勢。”他說，中國在硅材料的另一個重要應(yīng)用領(lǐng)域——太陽能光伏上已經(jīng)取得了世界級的成功，相信通過進(jìn)一步科學(xué)布局、集聚資源、激活人才……我們在硅基微電子技術(shù)上也會不斷有新作為。(記者 曾福泉)