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第三代半導體從“突圍”奔向“成鏈”

一塊金色獎牌漂洋過海,抵達江北新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)化基地。近日,江蘇超芯星半導體有限公司憑借自主研發(fā)的碳化硅長晶技術,斬獲第50屆日內(nèi)瓦國際發(fā)明展金獎。超芯星半導體是碳化硅行業(yè)全球首家獲此殊榮的企業(yè)。

作為全球規(guī)模最大的發(fā)明類專門展覽,日內(nèi)瓦國際發(fā)明展以評選嚴格、標準專業(yè)著稱,被列為“世界三大發(fā)明展”之首,每年吸引眾多來自世界各地的頂尖科研團隊和創(chuàng)新成果參展。

“這次我們的獲獎技術直擊碳化硅襯底制備的關鍵挑戰(zhàn),通過自主創(chuàng)新的工藝設計與方法,實現(xiàn)技術突破,攻克行業(yè)難題,重塑碳化硅技術標桿?!背拘前雽w創(chuàng)始人、CEO劉欣宇介紹,此次參展希望充分展示中國在第三代半導體領域的自主創(chuàng)新實力,讓世界看到中國半導體行業(yè)在碳化硅這一關鍵賽道上的突破與進步。

第三代半導體材料被稱為“未來電子產(chǎn)業(yè)基石”,指的是以碳化硅等為代表的寬禁帶半導體材料。當前,全球半導體產(chǎn)業(yè)正迎來迭代升級的關鍵時刻,與前兩代半導體相比,第三代半導體以其耐高溫、耐高壓以及承受大電流等多個方面的明顯優(yōu)勢,在新能源汽車、光伏、軌道交通、智能電網(wǎng)等領域具有廣闊的應用前景。

在超芯星半導體展廳內(nèi),記者看到兩代材料的直觀對比:采用碳化硅功率器件的汽車動力控制系統(tǒng),相較于傳統(tǒng)硅材料體積縮小80%、損耗降低70%、重量減少65%

6年前,海歸博士劉欣宇回國創(chuàng)辦超芯星半導體。彼時,碳化硅襯底基本依賴進口,高質量襯底的生產(chǎn)幾乎被歐美廠商壟斷。他決定不依賴進口設備,在各環(huán)節(jié)上都力爭形成自主知識產(chǎn)權,深耕碳化硅產(chǎn)業(yè)化之路。

在碳化硅長晶技術領域,目前主要有液相法、物理氣相法(PVT)和高溫化學氣相沉積法(HTCVD)三類。在劉欣宇眼里,HTCVD技術猶如一顆璀璨的新星,閃耀著顛覆性的光芒,“它具備連續(xù)性供料的先進特性,能夠確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效;所產(chǎn)出晶體的純度極高,極大地提升了碳化硅材料的性能與質量;同時,其生長速度之快也為大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化應用鋪就了堅實道路?!?/span>

落地南京后,超芯星研發(fā)團隊不斷攻克難關,先后突破了低應力、低缺陷晶體生長及低損耗晶片加工技術等多項關鍵技術難點,形成了一整套具有自主知識產(chǎn)權的工藝,覆蓋設備、粉料、晶體生長、晶體加工及晶片檢測全流程。漸漸地,一顆行業(yè)“新星”冉冉升起。

“如今我們已經(jīng)成為全世界‘唯三’、全國唯一掌握HTCVD創(chuàng)新技術的創(chuàng)業(yè)公司,也是國際少數(shù)幾家能夠批量供應碳化硅襯底片的企業(yè)之一。”劉欣宇告訴記者,隨著桑德斯、長晶科技等領軍企業(yè)的入駐,區(qū)域內(nèi)形成了世界級碳化硅產(chǎn)業(yè)配套集群,不僅為團隊技術成果轉化提供了有力支撐,更將推動產(chǎn)業(yè)能級實現(xiàn)質的飛躍,成為企業(yè)扎根發(fā)展的核心戰(zhàn)略基石。

近年來,我市錨定產(chǎn)業(yè)強市建設戰(zhàn)略部署,將第三代半導體產(chǎn)業(yè)集群作為需積極搶占的六個未來產(chǎn)業(yè)新賽道之一,奮力打造國內(nèi)具有影響力的第三代半導體產(chǎn)業(yè)基地。超芯星半導體所在的江北新區(qū),已構建起覆蓋“襯底—外延—器件—封裝—模組—應用”的全鏈條產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系,并聚集各環(huán)節(jié)頭部企業(yè)。

作為省內(nèi)唯一一家覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈的碳化硅材料公司,劉欣宇深感使命與責任重大,“南京是國家批準建設的六大第三代半導體創(chuàng)新高地之一,這些年我深切感受到隨著產(chǎn)業(yè)鏈加速布局,這里的第三代半導體產(chǎn)業(yè)能級逐步提升。期待未來全市碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展,我們也將充分發(fā)揮鏈主企業(yè)作用,積極推動上下游合作,共同構建更完善的產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài),爭取在江北新區(qū)打造世界的‘碳化硅谷’。”


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