6月20日，記者從新站高新區(qū)了解到，近日，合肥欣奕華首臺Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備正式下線交付客戶，該設(shè)備的成功開發(fā)與交付，標(biāo)志著新站高新區(qū)在新型顯示技術(shù)領(lǐng)域取得了重大突破。

據(jù)了解，Micro LED作為新一代顯示技術(shù)，具有高亮度、高對比度、高刷新率等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于電視、顯示器、虛擬現(xiàn)實(shí)等領(lǐng)域。而激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備作為Micro LED制程中的關(guān)鍵設(shè)備之一，對于實(shí)現(xiàn)Micro LED的大規(guī)模量產(chǎn)至關(guān)重要。

此次交付的Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備，采用了多項(xiàng)自主研發(fā)的核心技術(shù)，具備多項(xiàng)行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢。設(shè)備搭載超高精度運(yùn)動平臺，可實(shí)現(xiàn)精密自動對位和芯片高效巨量轉(zhuǎn)移，芯片轉(zhuǎn)移綜合精度控制在1.5μm以內(nèi)，確保了芯片轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

同時(shí)，自主設(shè)計(jì)的光路系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了光斑高均勻性和穩(wěn)定性，為芯片轉(zhuǎn)移提供了可靠的光學(xué)保障。此外，設(shè)備還具備晶圓姿態(tài)檢測及校正功能、光斑位置自校正功能，進(jìn)一步提升了設(shè)備穩(wěn)定性和生產(chǎn)效率。

在兼容性方面，該設(shè)備最大支持G2.5代（370mmX470mm）基板，可滿足不同客戶的多樣化需求。搭配合肥欣奕華自研的Micro LED準(zhǔn)分子激光剝離設(shè)備、DPSS固體激光剝離設(shè)備，能夠?yàn)榭蛻籼峁┮徽臼降腗icro LED制程解決方案，助力客戶降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。

此次首臺設(shè)備的成功交付，彰顯了合肥在新型顯示領(lǐng)域不斷積累的技術(shù)研發(fā)和科技創(chuàng)新實(shí)力。下一步，新站高新區(qū)將聚焦強(qiáng)鏈延鏈補(bǔ)鏈，持續(xù)攻關(guān)核心技術(shù)、培育龍頭企業(yè)，不斷做強(qiáng)做優(yōu)做大新型顯示產(chǎn)業(yè)。

合肥在線-合新聞記者 任海怡